項(xiàng)目名稱 |
指標(biāo) |
純氫 |
高純氫 |
超純氫 |
氫氣(H2)純度(體積分?jǐn)?shù))/10-2 ≥ |
99.99 |
99.999 |
99.9999 |
氧(O2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-4 ≤ |
5 |
1 |
0.2 |
氬(Ar)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-4 ≤ |
供需商定 |
供需商定 |
氮(N2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-4 ≤ |
60 |
5 |
0.4 |
一氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-4 ≤ |
5 |
1 |
0.1 |
二氧化碳(CO2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-4 ≤ |
5 |
1 |
0.1 |
甲烷(CH4)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-4 ≤ |
10 |
1 |
0.2 |
水分(H2O)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-4 ≤ |
10 |
3 |
0.5 |
雜志總含量(體積分?jǐn)?shù))/10-4 ≤ |
- |
10 |
1 |